電子行業的半導體芯片、液晶面板生產,對潔凈車間的濕度(露點)要求極-高 —— 低露點環境可防止芯片受潮氧化,避免電路短路。冷鏡式露點儀憑借超高精度與實時監測能力,成為電子行業守護生產環境的 “潔凈保障"。
在半導體晶圓制造的光刻環節,潔凈室露點需控制在 - 70℃Td 以下(極-高潔凈度等級),儀器采用超高精度制冷系統(控溫精度 ±0.05℃),搭配激光凝露檢測技術,可精準捕捉極低露點下的微量水分,測量范圍覆蓋 - 80~+5℃Td,分辨率達 0.001℃Td,滿足 SEMI F21-0706《半導體制造環境濕度測量指南》要求。針對液晶面板生產的無塵車間,儀器支持多點組網監測(最多可連接 32 個檢測點),實時監控不同生產區域的露點差異,避免因局部濕度偏高導致的面板不良率上升。